半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
工程项目后台
该公司企业主为亚洲世界领先的半导体进行处理器公测公司企业主,是在珠角形各地,最主要的进行中低端进行处理器的小学划片和装封测量。会因为场地生态环保请求严格要求,公司企业主定推行污废水 零排出水利工程。投资的项目于2030年开启,2026年6月成立建厂,进行处理经营规模为200吨/日,总投资的约2000多万元。
生活污水成份及來源
此项目的性片区生活污水包括一下特色:
高溶液溶液浓度氟化物,基本来于晶圆切工后的清洁工作制作工艺,氟亚铁离子溶液溶液浓度高达到150-200mg/L
包含的微米级硅粉颗粒物,孔径多在100-500nm区间内
生产功率因数补偿较高,COD在500-800mg/L
富含少量血本属如铅、镉等
水的电导率高,大多数在2000-3000μS/cm
清理生产技术方法
为体现临“0”排放标准对象,加工方案强调来考虑化工废水进行分类回收并和资源量回收并:
生活污水细分分类整理机系统
:将含氟废渣与其余废渣离婚征集
普通机械水解除氟
:所采用多级钙盐积累法,搭配高效性积累池
精致氧化反应补救
:三氧催化燃烧物氧化物降解塑料难除理有机酸物
膜浓缩提炼模式
:通过DTRO碟管式反融合,溶缩公因数为10倍
化掉凝结
:MVR自动化设备空气减小再减小减压蒸馏器进行处理浓水
吹干系统软件
:将沉淀盐烘干后看作轻工业副品牌外售
治理的效果
系统的程序运行统计数据显现:
氟化物清理率>99.9%,出水出水氟阴离子<1mg/L
COD总剔除率>98%,溢水COD<20mg/L
水材料收旧率>95%,仅引起一少部分结晶体盐
第二年可再利用高品味回收水约2万吨
晶体盐饱和度达到实业级要求,满足影视资源化再生再生利用
工作不单达成了废污水零尾气排放标准,还借助资源共享收售打造了约80万美金/年的更多投资收益。