半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
工程项目情况
该半导体器件品牌隶属于长三边形区县,包括出产8屏幕尺寸和12屏幕尺寸晶圆,日减排废供水量约2000吨。伴随出产生产技术较为复杂,废泥里含带多类难光降解生物碳物和血本属阴阳离子,傳統治理技术不可满足了日渐严格要求的减排规则。
废渣因素及原因
废污水首要来历于四位关键点:晶圆切除废污水有效巨大硅粉和切除液使用量;化学反应机械设备制造cnc精密机械加工废污水含高溶液硅和碾磨粉末;刻蚀除垢废污水有效氟化物、铜阴阳离子等高价属;光刻加工废污水则有效光阻剂等有机肥料废弃物物。水质监测特性是COD高(800-1500mg/L)、氟化物浓硫酸浓度高(200-400mg/L)、浮悬物多且有效微量分析高价属。
处置加工施工工艺图
用到"物理化学预加工+生物化加工+角度加工"的组合起来施工工艺:
调结池均匀饮用水质水流量
混凝土水解删去飘浮物和胶体溶液化学物质
无机化学积淀法特定治理氟化物,污泥脱水钙盐行成氟化钙积淀
淀粉水解硝化作用池提升 污水可什么是生化性
遇到防氧化池溶解有机的破坏物
亲水性炭吸出塔确定长度加工
膜分离处理设计保证 水流水环境比较稳定
采取含铜污水多个使用亚铁离子更换系统的,收售有的价值的金属材料铜。
从而作用
品牌竣工后程序运行稳定性,喷水COD<50mg/L,氟化物酸度<5mg/L,铜铁离子酸度<0.3mg/L,一项指標均远低于发展中国家《智能电子轻工业水空气空气污染物释放规则》(GB 39731-2020)。每一年可以减少COD释放约300吨,氟化物释放约50吨,回收利用铜五金约2吨,推动了生态环境竞争力与经济条件竞争力的互惠互利。