该项目蓝本
天津某半导厂研发历程中而且生成高硅污废水处理方法处理工艺 (SiO₂ 500-800mg/L)和含氟污废水处理方法处理工艺 (F⁻ 200-300mg/L)。两种类型污废水处理方法处理工艺 混杂易于形成了氟硅酸胶体溶液,传统的英语化学水解法不好平稳达到。楼盘请求一起彻底清除硅和氟(废气排放规定:SiO₂≤30mg/L,F⁻≤10mg/L)。
废液组成成分及源
基本含量
:硅酸氢钠(NaHSiO₃)、氟化铵(NH₄F)、异丙醇
来源地
:晶圆刻蚀废污水、CMP抛光废污水、产品冲洗器水
除理工艺设计具体流程
推进结晶步骤
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多级想法池
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第一点级加药Ca(OH)₂转换成CaF₂和CaSiO₃凝固;
第二点级添加PAC(聚合物氯化铝)精炼二沉池。
固液提取第一阶段
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反渗透装置装置
:使用0.02μm外径膜应用程序公款私存氢氧化铁硅和微细乳浊液物。
纵深脱氟步骤
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活力被氧化铝粉过滤塔
:残留氟亚铁离子吸清掉。
结果英文使用效果
出水量SiO₂≤25mg/L,F⁻≤8mg/L,远好于一个国家标淮。
超滤膜操作系统通量增强在15LMH,生物学的清洗寿命廷长至60天。
淤泥经压滤后水分含量率<65%,可按普通固废处理处理。