某半导体材料集成块研发厂在晶圆生产流程中,适用硅烷开始硅外延性的生长,氮氧化合物洗涤剂塔存在高溶液浓度含硅电镀化工废水。电镀化工废水兼具pH价格波动大(2-11)、硅水分含量高的特色,传统式外理的办法易显示硅垢梗塞原因。
废水处理方法组成及因素
废气核心有效成分为:
降解性硅酸盐
:SiO₂含量达1000-1500mg/L
磷酸/氢脱色钠
:洗衣机清洗塔酸性洗衣机清洗液农药残留
粉末硅
:nm级SiO₂电解质溶液
痕量砷
:奶茶原料溶物带进去
清理加工制作工艺 程序
研发主要包括"多级采和+膜过虑+减压蒸馏析出"制作工艺:
一层采和
:用CaO调高pH至4-5,形成硅酸钙结晶,硅除去率60%。
一级中合
:加Na₂CO₃将pH增强至9,加强组织领导一个脚印放置结余硅,串连用镁剂除砷。
反渗透膜系统化
:0.02μm瓷质膜滤水纳米技术级硅颗料,通量不稳定性在80LMH。
MVR蒸发掉器
:沉淀高盐废液,晶体出Na₂SO₄副类产品,水循环率超90%。
终极使用效果
总硅从1500mg/L降到5mg/L如下
砷含量从0.8mg/L降到0.01mg/L
程序无结渣启动低于2年
第二年收废氢氧化钾钠多晶体约800吨