东莞某半导体行业基带芯片开发厂，晶圆制造方式中呈现含硅、氟的特异废液，设汁加工大小1200吨/日。废液材料僵化，有效奈米级硅粉末及氢氧化钠，一般加工方案难考核标准。 废水处理方法的成分及来历 重要空气污染物质 ：电解质溶液硅（100-500nm粒度分布）、氟化合物（200-300mg/L）、异丙醇 來源程序 ：晶圆刻蚀化工电镀废水（45%）、CMP化学物质机器拋光化工电镀废水（40%）、机器设备冲泡水（15%） 治理工艺设计具体流程 特色化分为"无机化学奠定+特殊工种膜脱离"水平的路线： 钙盐凝固 ：污泥脱水氯化钙弄掉氟化合物（转化CaF2沉积） 斜管沉淀池现象 ：和好二沉池剂建立固体硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm内径膜挪作他用微细颗粒剂 ro反渗透法操作系统 ：脱盐率>98%，回笼率75% 挥发结晶体 ：浓水段改变氟化物零进行排放 后面效用 氟化物含量：<8mg/L（压低部委考试内容一级标准规定10mg/L） 硅含水量：<5mg/L 有限水源的造纸废水处理率：70%适用闭式密闭式冷却塔塔补充水分 危险废物回收利用：挥发渣子量较中国传统的工艺提高60%